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2025-06-09 04:49:53
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专利摘要显示ღ✿✿,本发明提供一种半导体晶圆硅片分片装置ღ✿✿,涉及晶圆硅片技术领域ღ✿✿,包括支撑架暖暖视频韩国完整版电视凯发k8(国际)官方网站ღ✿✿,所述支撑架上设有便于对硅棒进行分片的切割机构暖暖视频韩国完整版电视ღ✿✿,所述支撑架上设有便于对切割机构进行调节的调节机构ღ✿✿,所述支撑架上设有便于对切割后硅片进行收集的收集机构ღ✿✿,所述切割机构包括第一传动辊暖暖视频韩国完整版电视凯发k8(国际)官方网站ღ✿✿、固定圆板ღ✿✿、金刚切割线和气缸ღ✿✿,所述调节机构包括底板ღ✿✿、转轴和调节板凯发k8(国际)官方网站ღ✿✿,所述收集机构包括放置板暖暖视频韩国完整版电视凯发k8(国际)官方网站ღ✿✿。本发明通过设置了可调节的固定圆板和线槽相配合ღ✿✿,可在切割前凯发k8(国际)官方网站ღ✿✿,根据切割的需求暖暖视频韩国完整版电视暖暖视频韩国完整版电视ღ✿✿,对每个金刚切割线之间的间距进行调节暖暖视频韩国完整版电视ღ✿✿,由于硅棒切割通常在大批量生产中使用ღ✿✿,可调节间距的金刚切割线可以适应不同直径和长度的硅棒暖暖视频韩国完整版电视ღ✿✿,可以根据硅棒的直径和切割需求来灵活调整金刚切割线之间的间距凯发k8(国际)官方网站ღ✿✿。